在镀膜过程中,由于膜料杂质和环境污染因素,导致在膜层生长过程中形成节瘤,在强激光作用下会导致节瘤的崩裂,使光学薄膜器件损伤。月博中科超光公司经过改变激光参数,反复实验发现,特定峰值功率密度的激光可以去除膜层中的节瘤而不损伤其它部分。
基于此研究结果,月博中科超光公司通过自主设计研发,于近日率先推出薄膜表面节瘤缺陷清除仪,不仅可以去除膜层中的节瘤,提升其抗激光损伤能力,而且在光学元件镀膜前,还可利用此设备对光学镜片和激光晶体表面清洗,提升光学元件表面的抗损伤性能。